洁净厂房设计规范

洁净厂房设计规范

空气洁净度等级

*2．0．1条 空气洁净度应按表2．0．1规定划分为四个等级。

空气洁净度 表2．0．1

┌────┬──────────┬─────────┐

│等级 │每立方米（每升）空气│每立方米（每升）空│

│ │中≥0.5微米尘粒数 │气中≥5微米尘粒数 │

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│100级 │≤35×100（3.5） │ │

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│1000级 │≤35×1000（35） │≤250（0.25） │

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│10000级│≤35×10000（350） │≤2500（2.5） │

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│100000级│≤35×100000（3500）│≤5000（25） │

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注: 对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采

样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的．

*2．0．2条 洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒

数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。

 远程在线环境监控系统、尘埃粒子计数器、浮游菌采样器、风量仪、过滤器检漏、泄压阀（压缩空气质量检测仪）、气流流行检测仪（烟雾发生器）、气溶胶发生器、气溶胶光度计、温湿度压差测试仪，臭氧浓度仪、风速仪、声级计、照度计、压差表（计）等